[发明专利]具有直接互连能力的低电压、低功耗MEMS传感器在审
| 申请号： | 201780085521.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110546775A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·哈克;桑迪普·阿卡拉杰;亚努什·布莱泽克;布莱恩·毕考肖 | 申请（专利权）人： | 艾科索成像公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/053;H01L41/311;H04R17/00;H04R31/00 |
| 代理公司： | 31323 上海元好知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐雯琼;章丽娟<国际申请>=PCT/US |
| 地址： | 美国加利福尼亚雷*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一收发器(210)，包含pMUT元件(302)的阵列，其中每个pMUT元件(302)包含：基板(1030)；薄膜(1034)，悬置于所述基板；底电极(1002)，设置在所述薄膜(1034)上；压电层(1010)，设置在所述底电极(1002)上；以及第一电极(1008)，设置在所述压电层(1010)上。每个pMUT元件展现一个或更多个振动模式。 | ||
| 搜索关键词： | 底电极 压电层 基板 薄膜 第一电极 振动模式 收发器 | ||
【主权项】：
1.一种收发器，其特征在于，包含：/n元件的阵列，其中每个元件形成于其上；/n基板：/n薄膜，悬置于所述基板；/n底电极，设置在所述薄膜上；/n压电层，设置在所述底电极上；以及/n第一电极，设置在所述压电层上，/n其中每个元件展现一个或更多个振动模式。/n
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