[发明专利]用于影响至少一条光射束的射束方向的光学布置系统和方法有效
| 申请号： | 201780079908.8 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN110100204B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | M·克雷默;D-O·费尔;L·弗里德里希 | 申请（专利权）人： | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/33 | 分类号： | G02F1/33;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 德国韦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了实现被引导通过体积光栅(1)的光射束在不同的照射布置系统之间的灵活转换，提供一种包括用于影响至少一条光射束(2)的射束方向的体积光栅(1)的光学布置系统，其特征在于，在体积光栅(1)之前的光路中设置有转换装置(4)用于使至少一条光射束(2)的射束方向和/或射束位置从第一射束方向和/或射束位置向第二射束方向和/或射束位置转换，和/或反之亦然，在所述第一射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)不是以体积光栅(1)的接收角入射到体积光栅(1)上，在所述第二射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)以接收角入射到体积光栅(1)上。此外给出一种用于尤其是在使用前述光学布置系统的情况下影响至少一条光射束(2)的射束方向的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 影响 至少 一条 光射束 方向 光学 布置 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.包括用于影响至少一条光射束(2)的射束方向的体积光栅(1)的光学布置系统，其特征在于，在体积光栅(1)之前的光路中设置有转换装置(4)用于使至少一条光射束(2)的射束方向和/或射束位置从第一射束方向和/或射束位置向第二射束方向和/或射束位置转换，和/或反之亦然，在所述第一射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)不是以体积光栅(1)的接收角入射到体积光栅(1)上，在所述第二射束方向和/或射束位置时所述至少一条光射束(2)以接收角入射到体积光栅(1)上。
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- 季文海;宋迪;钟笠;李国林 - 中国石油大学（华东）
- 2018-04-20 - 2018-07-31 - G02F1/33
- 本发明涉及一种光束扫描装置与方法，具体涉及一种三维调谐的光束扫描装置与设计方法。本发明针对激光扫描光源，采用汇聚透镜、压控可变焦透镜和一种十字交叉的二维声光调制器，实现三维调谐的空间扫描。激光光束通过汇聚透镜聚焦，聚焦后的光束通过独立调节二维声光调制器的驱动频率，调节出射光束的偏转角，光斑在扫描面上依次逐点移动，实现光信号的横向扫描。根据扫描面与装置的距离的不同，通过调节可变焦透镜的焦距，改变出射激光光束的发散角和工作距离，改变它的纵向准直特性，实现对不同距离的物体表面的精准扫描，提高空间分辨率，从而实现三维调谐的动态扫描方法。
- 用于检查或测量对象的设备、光学组件、方法，以及用于制造结构的方法-201180051411.8
- E·P·古德温;D·M·威廉森;D·G·史密斯;M·法兰德;A·库珀;A·罗伯逊;B·L·斯塔姆珀 - 株式会社尼康
- 2011-10-25 - 2018-04-27 - G02F1/33
- 提供用于检查或测量对象的系统的光学组件，该光学组件被配置为在该系统被指向目标时作为单元与系统一起移动，并且消除对可以相对于系统的其它部分移动的大扫描（指向）反射镜的需要。该光学组件包括反射折射光学器件，该反射折射光学器件被配置为折叠被引导通过该系统的出口的指向光束和测量光束的光路，以压缩该光学组件的大小。
- 用于宽带偏振变换的多扭曲延迟器及相关制造方法-201280060131.8
- M.J.埃斯库蒂;R.K.科曼杜里;K.F.小劳勒 - 北卡罗莱纳州立大学
- 2012-10-05 - 2017-12-05 - G02F1/33
- 一种光学元件包括具有相应局部光轴的至少两个堆叠双折射层，所述相应局部光轴在所述至少两层的相应厚度上旋转相应扭曲角，并且沿着所述至少两层之间的相应界面对准。相应扭曲角和/或相应厚度不同。所述至少两个堆叠双折射层可以是液晶聚合物光学延迟器层。还讨论了相关设备和制造方法。
- 利用扫描仪系统沿着连续扫描轨迹扫描的方法-201280069646.4
- B.罗萨;G.卡托纳;M.维雷斯;P.马克;G.萨莱;A.卡斯扎斯;B.乔维尼;P.马特亚斯 - 菲托尼克斯公司
- 2012-01-05 - 2017-04-26 - G02F1/33
- 本发明涉及一种利用扫描仪系统(100)沿着连续扫描轨迹扫描的方法，该扫描仪系统包括用于偏转由定义x‑z平面中的光轴(z)的连续透镜系统(200)生成的电磁波束的焦点的第一对声光偏转器(10)以及用于偏转基本上与x‑z平面垂直的y‑z平面中的焦点的第二对声光偏转器(20)，其特征在于在第一对偏转器(10)的偏转器(12、12’)中和在第二对偏转器(20)的偏转器(22、22’)中随时间持续改变声频扫动，以使得焦点沿着扫描轨迹持续移动。
- 激光处理设备和经由激光工具操作而处理工件的方法-201480014010.9
- 马克·A·昂瑞斯 - 伊雷克托科学工业股份有限公司
- 2014-03-14 - 2017-03-08 - G02F1/33
- 本发明揭示在每一个压型动作前和后插入一安装时间的激光系统和方法。一高峰声光偏转器偏差大体上发生在特征间移动和压型移动之间的速度转换处。本转换发生于压型前(在趋近该压型位置的时候)和压型后(在自该已完成压型位置离开至下一位置的时候)两者。通过在每一个压型周期结尾添加一安装延迟，该声光偏转器偏差被允许设定成一较低值。这个接着允许较高压型间速度(提供高生产能力)而仍将该声光偏转器行进偏差保持在该系统的声光偏转器架构界限内。
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