[发明专利]谐振装置有效
申请号: | 201780078842.0 | 申请日: | 2017-07-13 |
公开(公告)号: | CN110089028B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 宇波俊彦;西村俊雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/24 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李慧;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在谐振装置中,提高温度控制的精度。具备:平台;谐振器,其具有振动部、和在振动部的周围设置第1槽地将振动部和平台连结的至少一个第1保持臂;传感器部,其具有测定温度的测定部;以及加热器,其形成于平台,在谐振装置中,在上述测定部和加热器之间设置有第2槽。 | ||
搜索关键词: | 谐振 装置 | ||
【主权项】:
1.一种谐振装置,具备:平台;谐振器,其具有振动部、和在所述振动部的周围设置第1槽地将所述振动部和所述平台连结的至少一个第1保持臂;传感器部,其具有测定温度的测定部;以及加热器,其形成于所述平台,该谐振装置中,在所述测定部和所述加热器之间设置有第2槽。
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