[发明专利]13族元素氮化物层、复合基板以及功能元件在审
| 申请号： | 201780062316.5 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109863262A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 矶田佳范;野口卓;内川哲哉;平尾崇行;下平孝直;今井克宏 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有第一主面及第二主面的13族元素氮化物层。13族元素氮化物层具备：设置于第一主面侧的第一空隙缺乏层、设置于第二主面侧的第二空隙缺乏层、以及设置于第一缺乏层与第二缺乏层之间的空隙分布层。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物层 族元素 主面 复合基板 功能元件 分布层 | ||
【主权项】：
1.一种13族元素氮化物层，其具有第一主面及第二主面，所述13族元素氮化物层的特征在于，具备:第一空隙缺乏层，该第一空隙缺乏层设置于所述第一主面侧；第二空隙缺乏层，该第二空隙缺乏层设置于所述第二主面侧；以及空隙分布层，该空隙分布层设置于所述第一空隙缺乏层与所述第二空隙缺乏层之间。
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