[发明专利]射频处理设备和方法有效
申请号: | 201780060764.1 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN110495250B | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 理查德·R·布伦利;理查德·W·布伦利;R·蒂梅里奥 | 申请(专利权)人: | 卓缤科技贸易公司 |
主分类号: | H05B6/46 | 分类号: | H05B6/46;H05B6/62 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇;李科 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在实施方式中,设备包括产生RF信号的射频(RF)发生器、第一和第二电极、以及在RF发生器和第一电极之间串联的阻抗匹配模块。RF发生器检测来自施加到电气地耦合在第一和第二电极之间的负载的RF信号的反射功率以改变负载的温度,RF信号被施加到负载直到反射功率达到特定值为止。 | ||
搜索关键词: | 射频 处理 设备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种系统,包括:/n多个射频(RF)发生器;/n多个阻抗匹配模块;/n多个电极板,所述多个阻抗匹配模块中的第一阻抗匹配模块和第二阻抗匹配模块电气地耦合在所述多个RF发生器中的相应的第一RF发生器和第二RF发生器与所述多个电极板中的相应的第一电极板和第二电极板之间;以及/n输送机,其包括接地电极,/n其中当在起始温度下的负载被放置在所述输送机上时,所述系统使用由所述多个RF发生器产生的RF信号来使所述负载在不同于所述起始温度的最终温度下,其中所述输送机将所述负载定位成在第一时间段期间电气地耦合到所述第一电极板,且所述第一阻抗匹配模块与在所述起始温度和所述最终温度之间的第一温度范围相关联,以及其中所述输送机将所述负载定位成在第二时间段期间电气地耦合到所述第二电极板,且所述第二阻抗匹配模块与在所述起始温度和所述最终温度之间的不同于所述第一温度范围的第二温度范围相关联。/n
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