[发明专利]具有环形工作台或抛光垫的抛光系统在审
| 申请号： | 201780052779.3 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109641342A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | P·D·巴特菲尔德;T·H·奥斯特赫尔德;吴政勋;S-S·常;S·M·苏尼卡;F·C·雷德克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/20;B24B57/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种抛光系统包括：工作台，所述工作台具有顶表面；环形抛光垫，所述环形抛光垫被支撑于所述工作台上；承载头，所述承载头用于保持基板与环形抛光垫的接触；支撑结构，其中承载头悬挂于所述支撑结构，所述支撑结构经配置以移动并保持所述承载头横跨所述抛光垫；以及控制器。所述工作台可围绕旋转轴旋转，所述旋转轴穿过工作台的近似中心的位置，且所述环形抛光垫的内边缘定位于旋转轴周围。所述控制器经配置以使得支撑结构定位承载头，从而使得在基板正在接触抛光垫的同时，基板的一部分悬于环形抛光垫的内边缘之上。 | ||
| 搜索关键词： | 环形抛光 承载头 支撑结构 工作台 抛光垫 旋转轴 基板 抛光系统 控制器 内边缘 环形工作台 近似中心 顶表面 垫被 配置 横跨 穿过 悬挂 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种抛光系统，包括：工作台，所述工作台具有顶表面和孔洞，所述孔洞在所述顶表面中位于所述工作台的近似中心处，使得所述顶表面是环形表面以支撑环形抛光垫，所述工作台可绕着旋转轴旋转，所述旋转轴穿过所述工作台的近似所述中心的位置；承载头，所述承载头用于保持基板与所述环形抛光垫接触；以及原位监测系统，所述原位监测系统具有探头，所述探头位于所述孔洞之中或位于所述孔洞下方且经配置以监测悬于所述环形表面的内边缘之上的所述基板的一部分。
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