[实用新型]一种油冷型单晶炉横向磁场系统

摘要

本实用新型涉及太阳能电池半导体制造技术，旨在提供一种油冷型单晶炉横向磁场系统，包括支架、横梁、耳朵架、磁极、导磁块、油冷系统、电磁控制系统、磁极温度监测系统。本实用新型磁场强度可调、磁极间距可调，可以适用不同炉型；本实用新型重量轻、结构合理，可以在现有单晶炉上快速安装；本实用新型油冷系统设计巧妙，方便后期维修保养；本实用新型有温度监测系统，可以提高设备安全性。

主权项

1.一种油冷型单晶炉横向磁场系统，其特征在于，包括支架、横梁、耳朵架、磁极、导磁块、油冷系统、电磁控制系统、磁极温度监测系统；所述支架有两个，横梁设有一根，横梁的两端分别安装在对应的支架上；横梁的两端各开有若干安装螺纹孔，能根据炉型不同选择横梁上不同的安装螺纹孔安装耳朵架；所述耳朵架设有两个，两个耳朵架上对应开有若干对腰形孔，根据不同的炉型，两个耳朵架利用一对腰型孔安装在横梁的一组安装螺纹孔上，且横梁能在耳朵架的腰形孔内进行微调；所述磁极包括线圈、铁芯、外壳，外壳上设有进油口和出油口，线圈安装在外壳中，线圈内安装有铁芯；磁极有两个，分别安装在两个耳朵架上，两个磁极水平对向安装，使左右两个磁极通电工作时相对并相吸，构成水平横向磁场；所述导磁块有两个，分别安装在对应的磁极上，导磁块能环抱住圆形的单晶炉，进行导磁并增强磁场强度；导磁块的安装位置能进行上下调节，以对磁场进行上下调节；所述油冷系统包括油枕、管路、换热器、三通放油阀、油泵，管路设有两路，分别连接两个磁极；磁极的出油口与换热器连接，磁极的进油口与油泵连接；三通放油阀串联在在磁极和换热器之间的连接管路中通过油冷系统冷却后的冷却油直接入磁极，和磁极里的线圈直接接触进行热交换，然后排出，热油通过换热器进行降温，以实现对磁极进行冷却，防止磁极内部高温；所述电磁控制系统包括电源柜和电控柜，用于无级调节电流大小，从而无级调节磁场强度，并对油冷系统的运行进行控制；所述电源柜作为整个油冷型单晶炉横向磁场系统的动力源，提供油冷型单晶炉横向磁场系统所需的直流电，电源柜的输入为380V交流电，输出三路直流电，分别连接两个个磁极和油泵；所述电控柜连接在电源柜上，作为整个油冷型单晶炉横向磁场系统的控制系统，用于控制整个油冷型单晶炉横向磁场系统的运行；所述磁极温度监测系统包括两个温度传感器和两个报警器；两个温度传感器分别安装在对应磁极的侧边，用于实时监测两个磁极的温度；两个报警器安装在电控柜上，用于磁极高温报警。