[实用新型]透镜组件有效
| 申请号： | 201721572503.1 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207502914U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 魏志桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种透镜组件，所述透镜组件包括：聚光透镜；用于固定所述聚光透镜的固定座，位于所述聚光透镜的外围；排气系统，所述排气系统包括：排气装置；排气管路，所述排气管路一端与所述排气装置相连接，一端延伸至所述固定座的下表面。本实用新型的透镜组件通过在固定聚光透镜的固定座下表面设置排气管路，可以在进行曝光时通过排气管路将光刻胶挥发的有机物及时排走，可以有效避免有机物在聚光透镜表面的附着，从而保证曝光的正常进行。 1 | ||
| 搜索关键词： | 聚光透镜 排气管路 透镜组件 本实用新型 排气系统 排气装置 有机物 固定座 透镜 固定座下表面 固定聚光 曝光 光刻胶 下表面 附着 挥发 外围 延伸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种透镜组件，其特征在于，所述透镜组件包括：
聚光透镜；
用于固定所述聚光透镜的固定座，位于所述聚光透镜的外围；
排气系统，所述排气系统包括：
排气装置；
排气管路，所述排气管路一端与所述排气装置相连接，一端延伸至所述固定座的下表面。
2.根据权利要求1所述的透镜组件，其特征在于：所述排气装置包括排气泵。3.根据权利要求1所述的透镜组件，其特征在于：所述排气管路的数量为多个。4.根据权利要求3所述的透镜组件，其特征在于：多个所述排气管路延伸至所述固定座下表面的部分固定于所述固定座的下表面，且沿所述固定座周向均匀分布。5.根据权利要求1所述的透镜组件，其特征在于：所述透镜组件还包括用于带动所述聚光透镜移动的滑块，所述滑块位于所述聚光透镜外围，且位于所述固定座的上方。6.根据权利要求5所述的透镜组件，其特征在于：所述透镜组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述滑块相连接，用于驱动所述滑块带动所述聚光透镜移动。7.根据权利要求1至6中任一项所述的透镜组件，其特征在于：所述透镜组件还包括承载台，所述承载台位于所述聚光透镜的下方，且与所述聚光透镜的下表面具有间距。8.根据权利要求7所述的透镜组件，其特征在于：所述透镜组件还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述承载台相连接，用于驱动所述承载台运动。
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