[实用新型]一种隔振装置及光刻设备

摘要

本实用新型公开了一种隔振装置及光刻设备，该隔振装置包括底座和分别安装于所述底座上的照明系统和掩模台系统，所述底座与所述照明系统之间以及所述底座与所述掩模台系统之间设有叠层橡胶。通过将照明系统和掩模台系统安装在同一个底座上，减少了整体布局空间，降低了成本，在底座和掩模台系统之间以及底座和照明系统之间分别采用柔性连接方式，使用叠层橡胶在垂向和水平向进行解耦，增大阻尼比，减小来自掩模台系统振动的影响，隔离了底座传递到照明系统的高频扰动力，此外在底座内部填充混凝土，能够极大地降低来自地基激励的振幅，降低照明系统的振动，提高了曝光线条的效果和套刻精度。 1

主权项

1.一种隔振装置，其特征在于，包括底座和分别安装于所述底座上的照明系统和掩模台系统，所述底座上设有若干密封腔，所述密封腔内填设有混凝土，所述底座与所述照明系统之间以及所述底座与所述掩模台系统之间设有叠层橡胶。

2.根据权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述密封腔均匀分布于所述底座中。

3.根据权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述混凝土的体积为所述密封腔体积的1/2～2/3。

4.根据权利要求1所述的隔振装置，其特征在于，所述照明系统包括照明支架和设于所述照明支架上的照明单元，所述照明支架安装于所述底座上，且与所述底座之间通过叠层橡胶连接。

5.根据权利要求4所述的隔振装置，其特征在于，所述照明支架的中部为空心结构，所述照明支架的支脚通过叠层橡胶安装于所述底座上。

6.根据权利要求5所述的隔振装置，其特征在于，所述掩模台系统位于所述照明支架的空心结构内。

7.根据权利要求6所述的隔振装置，其特征在于，所述掩模台系统包括掩模台电机支架和设于所述掩模台电机支架上的掩模台电机，所述掩模台电机支架通过叠层橡胶安装于所述底座上。

8.根据权利要求7所述的隔振装置，其特征在于，所述掩模台电机支架设有四个，分别与所述照明支架的支脚对应。

9.一种装有如权利要求1‑8之一所述隔振装置的光刻设备，其特征在于，所述光刻设备包括位于所述底座内部且安装于地基上的主动减振装置、设于所述主动减振装置上的吊框、设于所述吊框上的运动台和主基板，以及安装于所述主基板上的投影物镜。