[实用新型]一种光刻胶过滤装置有效
| 申请号： | 201720996854.9 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN207042010U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 徐明星 | 申请（专利权）人： | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/11 | 分类号： | B01D29/11 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 卢登涛 |
| 地址： | 272100 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶过滤装置，包括过滤罐，过滤罐内设有精密过滤芯，所述过滤罐的顶端设有进料口，进料口上加装有进料阀门，所述进料口一侧设有进气管路，另一侧设有排气口，所述过滤罐的顶端设有出料口。封闭罐体内形成内部压力，促使光刻胶在精密过滤芯内向下流动，从而达到过滤效果，主要去除原光刻胶内硅片碎渣及其他异物，使光刻胶满足重复使用的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶过滤装置，其特征在于，包括密闭的过滤罐(8)，过滤罐(8)内设有精密过滤芯(9)，所述过滤罐(8)的顶端设有进料口(1)，进料口(1)上加装有进料阀门(5)，所述进料口(1)一侧设有进气管路(4)，另一侧设有排气口(6)，所述过滤罐(8)的顶端设有出料口(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东芯诺电子科技股份有限公司，未经山东芯诺电子科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720996854.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：三防灯
- 下一篇：一种涡流可排式过滤除渣器
