[实用新型]一种光刻胶过滤装置有效
| 申请号： | 201720996854.9 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN207042010U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 徐明星 | 申请（专利权）人： | 山东芯诺电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/11 | 分类号： | B01D29/11 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 卢登涛 |
| 地址： | 272100 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 过滤 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶过滤装置，其特征在于，包括密闭的过滤罐(8)，过滤罐(8)内设有精密过滤芯(9)，所述过滤罐(8)的顶端设有进料口(1)，进料口(1)上加装有进料阀门(5)，所述进料口(1)一侧设有进气管路(4)，另一侧设有排气口(6)，所述过滤罐(8)的顶端设有出料口(10)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述进料口(1)为U形进料口。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述进料口(1)上加装有进料阀门(5)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述进气管路(4)的进气口设有进气阀门(3)和压力表(2)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述进气口进气压力为0.2mpa。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述排气口(6)上设有排气阀门(7)。
7.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述出料口(10)上设有出料阀门(11)。
8.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述出料口(10)连接光刻胶容器。
9.根据权利要求1所述的一种光刻胶过滤装置，其特征在于，所述精密过滤芯(9)为聚四氟乙烯滤芯，精度0.45um。
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