[实用新型]一种光刻胶过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过滤装置，尤其是一种光刻胶过滤装置。

背景技术

光刻胶又称为光致抗蚀剂，是由树脂、增光剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在某些光刻胶中还添加有添加剂，其是用于控制光刻胶材料特殊方面的化学物质。其中树脂是一种惰性的聚合物(包括碳、氢、氧的有机高分子)基质，用于把光刻胶中的不同材料聚在一起。树脂给予了光刻胶其机械和化学性质，例如粘附性、胶膜厚度、柔顺性和热流稳定性。增光剂是光刻胶中的光敏成分，它对光形式的辐射能，特别在紫外区，会发生反应。溶剂使光刻胶保持液体状态。绝大多数的溶剂在曝光前挥发，对于光刻胶的光化学性质几乎没有影响。

半导体芯片生产过程中使用大量光刻胶，但是其实际利用率仅占10％，剩余90％光刻胶均被离心力甩出废弃，造成光刻胶使用的浪费及增加了工厂对光刻胶的收集管控，同时因光刻胶属于大分子有机溶剂，其处理难度相当大。鉴于以上因素，光刻胶重复使用意义重大，但光刻胶在重复使用前需进行精密过滤方可使用，现有的过滤装置难以满足使用要求。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提出了一种光刻胶过滤装置。

其采用如下技术方案：

一种光刻胶过滤装置，包括密闭的过滤罐，过滤罐内设有精密过滤芯，所述过滤罐的顶端设有进料口，进料口上加装有进料阀门，所述进料口一侧设有进气管路，另一侧设有排气口，所述过滤罐的顶端设有出料口。

所述进料口为U形进料口。

所述进料口上加装有进料阀门。

所述进气管路的进气口设有进气阀门和压力表。

所述进气口进气压力为0.2mpa。

所述排气口上设有排气阀门。

所述出料口上设有出料阀门。

所述出料口连接光刻胶容器。

所述精密过滤芯为聚四氟乙烯滤芯，精度0.45um。

采用如上技术方案取得的有益技术效果为：

封闭罐体内形成内部压力，促使光刻胶在精密过滤芯内向下流动，从而达到过滤效果，主要去除原光刻胶内硅片碎渣及其他异物，使光刻胶满足重复使用的要求。

附图说明

图1为光刻胶过滤装置结构示意图。

图中，1、进料口，2、压力表，3、进气阀门，4、进气管路，5、进料阀门，6、排气口，7、排气阀门，8、过滤罐，9、精密过滤芯，10、出料口，11、出料阀门。

具体实施方式

结合附图1对本实用新型的具体实施方式做进一步说明：

一种光刻胶过滤装置，包括密闭的过滤罐8，过滤罐内设有精密过滤芯9，所述过滤罐的顶端设有进料口，进料口1上加装有进料阀门5，所述进料口一侧设有进气管路4，另一侧设有排气口6，所述过滤罐的顶端设有出料口10。

所述进料口为U形进料口，方便进料。所述进料口上加装有进料阀门，进料阀门控制进料。

所述进气口设有进气阀门3和压力表2。所述进气口进气压力为0.2mpa，封闭罐体内形成内部压力，促使光刻胶在精密过滤芯内向下流动。

所述排气口上设有排气阀门7，用于平衡罐内压力。

所述出料口上设有出料阀门11。所述出料口连接光刻胶容器。

进气阀门、排气阀门、进料阀门、出料阀门均是手动控制阀门，阀门把手横向为关，纵向为开。

或者，进气阀门、排气阀门、进料阀门、出料阀门均是电磁阀门，电磁阀门连接控制电路，能够统一控制各阀门的开闭。

精密过滤芯为聚四氟乙烯滤芯，精度0.45um，光刻胶具有一定粘度，450cp，属于大分子有机脂类，主要将回收的光刻胶中的硅片碎渣杂质过滤。

过滤后的光刻胶清澈透明无杂质，符合再次粘度。但过滤后的光刻胶还需进行配制使用，以保证产品性能。

关闭出料阀门11、进气阀门3，打开进料阀门5、排气阀门7，光刻胶自进料口1倒入进入过滤罐8，在过滤罐中流经精密过滤芯9，待倒入结束，关闭进料阀门5、排气阀门7，打开进气阀门3，将压力表2设定至0.2mpa，通气2分钟，封闭罐体内形成内部压力，促使光刻胶在精密过滤芯9内向下流动，从而达到过滤效果，主要去除原光刻胶内硅片碎渣及其他异物。

取料时，先将排气阀门6打开，再打开出料阀门11，过滤后的光刻胶自出料口10流出接入容器内。

当然，以上说明仅仅为本实用新型的较佳实施例，本实用新型并不限于列举上述实施例，应当说明的是，任何熟悉本领域的技术人员在本说明书的指导下，所做出的所有等同替代、明显变形形式，均落在本说明书的实质范围之内，理应受到本实用新型的保护。