[实用新型]溅射镀膜机夹具及镀膜治具有效
| 申请号： | 201720702117.3 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN206940979U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 徐峥 | 申请（专利权）人： | 南阳凯鑫光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 金相允 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜的技术领域，尤其是涉及一种溅射镀膜机夹具及镀膜治具，该溅射镀膜机夹具包括固定板和压板；所述压板安装在所述固定板上且所述压板内部穿过紧固组件；所述紧固组件包括紧固件和套设在所述紧固件上的弹性件，所述弹性件顶部与紧固件相连，底部与压板相连，以夹住不同厚度的基片；该镀膜治具，包括镀膜板和若干所述的溅射镀膜机夹具；所述镀膜板安装在基座上，若干所述固定板均安装在所述镀膜板上。解决了现有溅射镀膜机夹具不能安装不同厚度的基片的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
一种溅射镀膜机夹具，其特征在于，包括：固定板和压板；所述压板安装在所述固定板上且所述压板内部穿过紧固组件；所述紧固组件包括紧固件和套设在所述紧固件上的弹性件，所述弹性件顶部与紧固件相连，底部与压板相连，以夹住不同厚度的基片。
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