[实用新型]干涉仪测量系统定位测头有效
| 申请号： | 201720248088.8 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN206618382U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 王文革;邹惠莹;王杰;李超;陆巍群;魏佳勇 | 申请（专利权）人： | 长春继珩精密光学技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/14 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130000 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 干涉仪测量系统定位测头，属于光学加工技术领域，为了解决现有干涉仪测量系统测量复杂且成本高的问题，其包括双触头测量表、表架和六维调整架，表架上表面设置凹槽，双触头测量表设置在表架的凹槽内，表架的下端与六维调整架螺纹连接，六维调整架可调整表架的精确位置；六维调整架与干涉仪导轨上的光栅尺载物台螺纹连接；本实用新型中的干涉仪测量系统定位测头，结构简单，制作成本低廉，并且能够保证测量系统所需要的定位精度；在干涉仪测量定位中具有广泛适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 测量 系统 定位 | ||
【主权项】：
干涉仪测量系统定位测头，其特征是，其包括双触头测量表(1)、表架(2)和六维调整架(3)，表架(2)上表面设置凹槽，双触头测量表(1)设置在表架(2)的凹槽内，表架(2)的下端与六维调整架(3)螺纹连接，六维调整架(3)可调整表架(2)的精确位置。
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