[实用新型]一种微波等离子体粉体处理装置

摘要

本实用新型公开了一种微波等离子体粉体处理装置，包括安装于角度调节架上的装置体，所述装置体包括管式微波等离子体源，管式微波等离子体源由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的介质管，矩形波导的一端连接微波源，其另一端连接可调节短路板，介质管一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接。本实用新型用石英管式微波等离子体源，增添放置处理粉体的石英制成的旋转鼓杯，构成一种微波等离子体粉体处理装置，用这种装置，将纳米级或微米级的金刚石粉体、石墨烯粉体、立方氮化硼粉体或其他无机物粉体放置入旋转鼓杯，在管式微波等离子体源的高密度等离子体区域进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。

主权项

一种微波等离子体粉体处理装置，其特征在于：包括安装于角度调节架上的装置体，所述装置体包括管式微波等离子体源，管式微波等离子体源由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的介质管，该介质管穿过微波矩形波导的H面；矩形波导的一端连接微波源，其另一端连接可调节短路板，穿过微波矩形波导的H面的介质管的上下两端由水冷金属法兰和O形胶圈密封形成真空室，介质管穿出矩形波导管的部分用带观察网孔的金属管或金属网卷成的管包围，其一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接；反应室上端有进气接口，与气路系统相连接，反应室下端连接一个金属腔体，金属腔体的一个侧向与真空规管连接，通过真空计检测工作气压，金属腔体的另一侧向连接旋风分离器、粉体过滤器、粗调节流阀和细调节流阀、放气阀，然后接真空泵用的截断放气阀、真空管路,最后接真空泵；金属腔体的下端有KF快卸法兰接口，通过KF快卸法兰卡箍，将旋转鼓杯装入反应室。