[实用新型]一种用于实心圆柱形工件磁控溅射镀膜的夹持装置有效
| 申请号： | 201720167840.6 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN206706199U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 关江敏;赵晓飞;王长梗 | 申请（专利权）人： | 北京创世威纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京尚德技研知识产权代理事务所(普通合伙)11378 | 代理人： | 陈晓平 |
| 地址： | 100085 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于实心圆柱形工件磁控溅射镀膜的夹持装置，其包括三个相同的由至少三个周向均布的第一定位柱固定连接的定齿轮，每个所述定齿轮旋转连接有同心的转轮，三个所述转轮通过至少三个周向均布的第二定位柱固定连接，每两个相邻的所述转轮之间设置有多对可伸缩的第三定位柱，每个所述第三定位柱通过相同的第一动齿轮与对应的所述定齿轮啮合连接。本实用新型所提供的一种用于实心圆柱形工件磁控溅射镀膜的夹持装置，可有效实现实心圆柱形工件的批量镀膜，且能有效保障实心圆柱形工件两个端面附近的侧壁的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 实心 圆柱形 工件 磁控溅射 镀膜 夹持 装置 | ||
【主权项】：
一种用于实心圆柱形工件磁控溅射镀膜的夹持装置，其特征在于，其包括三个相同的由至少三个周向均布的第一定位柱固定连接的定齿轮，每个所述定齿轮旋转连接有同心的转轮，三个所述转轮通过至少三个周向均布的第二定位柱固定连接，每两个相邻的所述转轮之间设置有多对可伸缩的第三定位柱，每个所述第三定位柱通过相同的第一动齿轮与对应的所述定齿轮啮合连接，所述转轮在侧壁设置有齿形。
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