[实用新型]一种易于安装的晶圆测试装置

摘要

本实用新型公开了一种易于安装的晶圆测试装置，包括测试箱和测试台，所述测试箱的顶部固定连接有观察镜，所述测试箱内底部固定连接于底架，所述底架的两侧均固定连接于安装了测试探针的探针臂，所述底架固定连接于测试台的底部，所述测试台表面活动链接于晶圆托盘的底部，所述晶圆托盘的上表面活动连接有卡固组件，所述晶圆托盘底部通过软管固定连接于负压发生装置。本实用新型可对待测晶圆背面提供均匀的吸附力和加固，提高了测试的稳定度；通过测试机对运动组件的运动进行控制，可以自动化对晶圆进行检测，整个检测过程均在测试箱中完成，避免环境中灰尘等颗粒物的污染，提高晶圆产品检测的纯净度。

主权项

一种易于安装的晶圆测试装置，包括测试箱（2）和测试台（3），其特征在于：所述测试箱（2）的顶部固定连接有观察镜（1），所述测试箱（2）内底部固定连接于底架（5），所述底架（5）的两侧均固定连接于安装了测试探针的探针臂（4），所述底架（5）固定连接于测试台（3）的底部，所述测试台（3）表面活动链接于晶圆托盘（6）的底部，所述晶圆托盘（6）的上表面活动连接有卡固组件（10），所述晶圆托盘（6）底部通过软管（603）固定连接于负压发生装置。