[实用新型]一种易于安装的晶圆测试装置

权利要求书

1.一种易于安装的晶圆测试装置，包括测试箱（2）和测试台（3），其特征在于：所述测试箱（2）的顶部固定连接有观察镜（1），所述测试箱（2）内底部固定连接于底架（5），所述底架（5）的两侧均固定连接于安装了测试探针的探针臂（4），所述底架（5）固定连接于测试台（3）的底部，所述测试台（3）表面活动链接于晶圆托盘（6）的底部，所述晶圆托盘（6）的上表面活动连接有卡固组件（10），所述晶圆托盘（6）底部通过软管（603）固定连接于负压发生装置。

2.根据权利要求1所述的一种易于安装的晶圆测试装置，其特征在于：所述测试台（3）包括固定连接于底架（5）的固定板（13），所述固定板（13）的上表面通过运动组件连接于活动板（14）的下表面，所述活动板（14）的上表面通过运动组件连接于晶圆托盘（6）的下表面。

3.根据权利要求2所述的一种易于安装的晶圆测试装置，其特征在于：所述运动组件包括丝杆电机（8），所述丝杆电机（8）的转轴固定连接于丝杆（7）的一端，所述丝杆（7）的另一端活动连接于轴承（11），所述丝杆（7）上套接有滑块（12），其中所述丝杆电机（8）和轴承（11）固定连接于发生相对运动物体的上表面，所述滑块（12）固定连接于发生相对运动物体的下表面。

4.根据权利要求1所述的一种易于安装的晶圆测试装置，其特征在于：所述卡固组件（10）包括托架（103），所述托架（103）上插接有滑竿（101），所述滑竿（101）的底端滑动连接于晶圆托盘（6）表面上的槽道，所述滑竿（101）通过螺纹连接有锁紧螺母（102）。

5.根据权利要求1所述的一种易于安装的晶圆测试装置，其特征在于：所述晶圆托盘（6）的内部设有负压室（602），所述负压室（602）通过吸孔（601）连通于晶圆托盘（6）的上表面，所述负压室（602）通过软管（603）固定连接于负压发生装置。

6.根据权利要求1所述的一种易于安装的晶圆测试装置，其特征在于：所述晶圆托盘（6）在初始工位时位于观察镜（1）的正下方。