[发明专利]靶材制备设备有效
| 申请号： | 201711480695.8 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108220894B | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;蔡新志;朱刘 | 申请（专利权）人： | 清远先导材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D23/06;B22D27/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材制备设备，工作台的台面上设置靶材成型框架，靶材原料填充到靶材成型框架内，通过加热装置对工作台的加热，使得工作台的台面形成靶材原料的加热板，将靶材原料加热融化，融化后的靶材原料均匀铺盖于靶材成型框架圈定的框架界限内，同时融化的靶材原料由震动装置震动流动，保证靶材成型框架内各个位置铺设的靶材厚度相同，成型密度均匀，通过工作台的台面和靶材成型框架可制备平板状结构的靶材，并由震动装置在成型过程中震动调整，保证靶材成型后的厚度和密度分布均匀，制备后的板状靶材，在后续绑定到背板的工艺中，避免单块靶材连接处的缺陷，保证表面平整度，提高了平面靶材的制备质量。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 设备 | ||
【主权项】：
1.一种靶材制备设备，其特征在于，包括工作台，其内置有对所述工作台的台面进行加热的加热装置；对所述靶材原料的成型形状进行圈定的靶材成型框架，其固装于所述工作台的台面上；所述靶材成型框架的上方架设有对所述靶材原料的成型密度进行震动调整的震动装置。
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