[发明专利]一种多层红外透明导电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201711456751.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108193179B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;郑传涛;王一丁;郑伟涛 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/22 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 郭佳宁 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于红外光学材料技术和电子薄膜材料技术领域，具体涉及一种多层红外透明导电薄膜及其制备方法，其中一种多层红外透明导电薄膜包括五层结构，从下至上依次为：衬底、IHfO透明导电层、金属层、IHfO透明导电层和Al |
||
| 搜索关键词： | 一种 多层 红外 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层红外透明导电薄膜，其特征在于包括五层结构，从下至上依次为：衬底(1)、IHfO透明导电层(2)、金属层(3)、IHfO透明导电层(4)和Al2O3保护层(5)，其中IHfO透明导电层(2)采用射频磁控溅射方法沉积在IHfO透明导电层(2)上，金属层(3)采用直流磁控溅射法沉积在IHfO透明导电层(2)上，IHfO透明导电层(4)采用射频磁控溅射方法沉积在金属层(3)上，Al2O3保护层(5)采用离子束辅助热蒸镀法蒸镀在IHfO透明导电层(4)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711456751.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
