[发明专利]浮起搬运装置以及基板处理装置有效
| 申请号： | 201711444785.1 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108249159B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 今冈裕一;矶明典 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够防止基板弯曲地搬运的浮起搬运装置以及基板处理装置。本发明的浮起搬运装置使基板浮起而进行搬运，其特征在于，夹着基板的搬运路径而具有下侧浮起装置以及上侧浮起装置，构成下侧浮起装置以及上侧浮起装置中的至少任一方的多个浮起块设置间隙地配置，构成另一方的浮起块以与上述间隙对置的方式配置。 | ||
| 搜索关键词： | 浮起 浮起装置 搬运装置 基板处理装置 搬运 搬运路径 方式配置 基板浮起 基板弯曲 对置 基板 配置 | ||
【主权项】：
1.一种浮起搬运装置，使基板浮起而进行搬运，其特征在于，/n夹着上述基板的搬运路径而具有下侧浮起装置以及上侧浮起装置，/n上述下侧浮起装置以及上述上侧浮起装置都具有多个浮起块，/n各上述浮起块在与搬运的上述基板对置的面分别具有多个喷出流体的喷出孔和多个吸引上述流体的吸引孔，/n分别构成上述下侧浮起装置和上述上侧浮起装置的多个上述浮起块在上述基板的搬运方向上设置间隙地配置，/n构成上述下侧浮起装置的多个上述浮起块之间所具有的上述间隙分别与构成上述上侧浮起装置的某一个上述浮起块对置，构成上述上侧浮起装置的多个上述浮起块之间所具有的上述间隙分别与构成上述下侧浮起装置的某一个上述浮起块对置，/n上述浮起搬运装置配置为，构成上述下侧浮起装置的多个上述浮起块之间所具有的上述间隙不与构成上述上侧浮起装置的多个上述浮起块之间所具有的上述间隙对置。/n
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