[发明专利]带除静电装置的浮起装置及该浮起装置中的除静电方法

摘要

本发明的课题为，在借助空气的喷射使板状工件浮起的空气浮起装置上，削减除去由工件浮起用的空气产生的静电的除静电装置的设置空间。其解决方案为，在使工件(6)浮起的工件的浮起面(2a)上设置多个空气喷射孔(3)、借助空气的喷射使该工件(6)浮起的装置中，在上述国家去年浮起用的空气供应流路上，设置使所述空气离子化用的离子化装置(5)，除去由喷射出来的工件浮起用的空气产生的静电。

主权项

1.一种带有除静电装置的空气浮起装置，该装置在使板状工件浮起的工件浮起面上设置多个空气喷射孔，通过空气喷射使该工件浮起，其特征在于，在上述工件浮起用的空气供应流路中，设置用于将该空气离子化的离子化装置，利用喷出的工件浮起用的空气对工件上的静电进行除静电。