[发明专利]光学补偿膜、掩膜版以及曝光机

摘要

本发明提供一种光学补偿膜、掩膜版以及曝光机。光学补偿膜应用于曝光机，曝光机包括多个棱镜，相邻两个棱镜部分重叠设置，形成重叠部分和非重叠部分，光学补偿膜包括第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜；第一区域光学补偿膜与重叠部分棱镜相对设置，第一区域光学补偿膜用于将光透射到重叠部分棱镜；第二区域光学补偿膜与非重叠部分棱镜相对设置，第二区域光学补偿膜用于将光透射到非重叠部分棱镜，其中第一区域光学补偿膜的光透过率大于第二区域光学补偿膜的光透过率。该方案通过使第一区域光学补偿膜的光透过率大于第二区域光学补偿膜光透过率，使通过棱镜不同部分的光强度相同，保证曝光膜层的均一性，从而提高了显示面板的显示性能。

主权项

1.一种光学补偿膜，应用于曝光机，所述曝光机包括多个棱镜，相邻两个所述棱镜部分重叠设置，形成重叠部分和非重叠部分，其特征在于，所述光学补偿膜包括：第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜；

所述第一区域光学补偿膜与所述重叠部分棱镜相对设置，所述第一区域光学补偿膜用于将光透射到所述重叠部分棱镜；

所述第二区域光学补偿膜与所述非重叠部分棱镜相对设置，所述第二区域光学补偿膜用于将光透射到所述非重叠部分棱镜，其中所述第一区域光学补偿膜的光透过率大于所述第二区域光学补偿膜的光透过率。

2.根据权利要求1所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的厚度小于所述第二区域的厚度。

3.根据权利要求2所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第二区域光学补偿膜的厚度范围为0.5～3um，所述第一区域光学补偿膜比所述第二区域光学补偿膜厚0.2～1um。

4.根据权利要求1所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的主体材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的掺杂材料包括氟化镁、硅氧烷杂化膜中的一种或多种。

5.根据权利要求4所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第一区域光学补偿膜的掺杂材料占所述主体材料的0.05％～0.5％。

6.根据权利要求1所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的主体材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第二区域光学补偿膜的掺杂材料包括醋酸纤维脂类材料。

7.根据权利要求1所述的光学补偿膜，其特征在于，所述第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜均包括透光层，所述第二区域还包括遮光层，所述遮光层的透光率小于所述透光层。

8.根据权利要求7所述的光学补偿膜，其特征在于，所述透光层的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述遮光层的组成材料包括醋酸纤维脂类材料。

9.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版包括承载部、遮光膜、支柱以及如权利要求1‑8任意一项所述的光学补偿膜；

所述遮光膜设置在所述承载部上；

所述支柱设置在所述遮光膜上，用于支撑所述光学补偿膜。

10.一种曝光机，其特征在于，包括：光源、多个棱镜以及设置在所述光源和所述多个棱镜之间的如权利要求1‑8任意一项所述的光学补偿膜；

相邻两个所述棱镜部分重叠设置，形成重叠部分棱镜和非重叠部分棱镜；

所述光学补偿膜包括第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜；

所述光源，用于向所述光学补偿膜发射光，所述光经所述第一区域光学补偿膜后，照射到所述重叠部分棱镜；所述光经所述第二区域光学补偿膜后，照射到所述非重叠部分棱镜。