[发明专利]光学补偿膜、掩膜版以及曝光机

说明书

本发明提供一种光学补偿膜、掩膜版以及曝光机。光学补偿膜应用于曝光机，曝光机包括多个棱镜，相邻两个棱镜部分重叠设置，形成重叠部分和非重叠部分，光学补偿膜包括第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜；第一区域光学补偿膜与重叠部分棱镜相对设置，第一区域光学补偿膜用于将光透射到重叠部分棱镜；第二区域光学补偿膜与非重叠部分棱镜相对设置，第二区域光学补偿膜用于将光透射到非重叠部分棱镜，其中第一区域光学补偿膜的光透过率大于第二区域光学补偿膜的光透过率。该方案通过使第一区域光学补偿膜的光透过率大于第二区域光学补偿膜光透过率，使通过棱镜不同部分的光强度相同，保证曝光膜层的均一性，从而提高了显示面板的显示性能。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种光学补偿膜、掩膜版以及曝光机。

背景技术

液晶显示面板(Liquid crystal display,LCD)由于具有色彩度高、能耗低等优势，而在显示技术领域中占据主流地位。

在LCD制作过程中，通常采用曝光机将掩膜版上的图案转印到玻璃基板上。其中Nikon曝光机以其精度高、调整幅度大的优势，得到广泛应用。

如图1所示，Nikon曝光机采用扫描时曝光模式，强度为E0’的光线经一组部分重叠设置的棱镜1后，射到基板2表面完成曝光。由于经棱镜重叠位置11射出的光线强度E1’小于经棱镜非重叠位置12射出的光线强度E2’，因此会导致基板2曝光强度不均匀，降低了LCD的显示性能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光学补偿膜、掩膜版以及曝光机，可以使显示面板均匀曝光，提高显示面板的显示性能。

本发明实施例提供了一种光学补偿膜，应用于曝光机，所述曝光机包括多个棱镜，相邻两个所述棱镜部分重叠设置，形成重叠部分和非重叠部分，所述光学补偿膜包括：第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜；

所述第一区域光学补偿膜与所述重叠部分棱镜相对设置，所述第一区域光学补偿膜用于将光透射到所述重叠部分棱镜；

所述第二区域光学补偿膜与所述非重叠部分棱镜相对设置，所述第二区域光学补偿膜用于将光透射到所述非重叠部分棱镜，其中所述第一区域光学补偿膜的光透过率大于所述第二区域光学补偿膜的光透过率。

在一些实施例中，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的厚度小于所述第二区域的厚度。

在一些实施例中，所述第二区域光学补偿膜的厚度范围为0.5～3um，所述第一区域光学补偿膜比所述第二区域光学补偿膜厚0.2～1um。

在一些实施例中，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的主体材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的掺杂材料包括氟化镁、硅氧烷杂化膜中的一种或多种。

在一些实施例中，所述第一区域光学补偿膜的掺杂材料占所述主体材料的0.05％～0.5％。

在一些实施例中，所述第二区域光学补偿膜的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第一区域光学补偿膜的主体材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述第二区域光学补偿膜的掺杂材料包括醋酸纤维脂类材料。

在一些实施例中，所述第一区域光学补偿膜和第二区域光学补偿膜均包括透光层，所述第二区域还包括遮光层，所述遮光层的透光率小于所述透光层。

在一些实施例中，所述透光层的组成材料包括硝化纤维素、纤维脂、特氟龙中的一种或多种，所述遮光层的组成材料包括醋酸纤维脂类材料。