[发明专利]基于GaN材料的RGBW四色LED芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711382419.8 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN107946423A 公开(公告)日: 2018-04-20
发明(设计)人: 左瑜 申请(专利权)人: 西安智盛锐芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L33/08 分类号: H01L33/08;H01L33/00
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)61230 代理人: 黄晶晶
地址: 710075 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供一种基于GaN材料的RGBW四色LED芯片的制备方法,包括选择蓝宝石作为衬底(11);在所述衬底(11)上生长蓝光材料,其中,所述蓝光材料包括GaN;对所述蓝光材料进行选择性刻蚀以形成红光灯芯槽;在所述红光灯芯槽中生长红光材料;对所述蓝光材料进行选择性刻蚀以形成绿光灯芯槽;在所述绿光灯芯槽中生长绿光材料;刻蚀所述蓝光材料、所述红光材料及所述绿光材料以形成白光材料;分别在所述蓝光材料、所述红光材料、所述绿光材料和所述白光材料上制备电极。本发明的有益效果有1.在单芯片能产生多种颜色的光,荧光粉的用量较少;2.集成度提高,LED成本可以下降;3.色温调节更加灵活。
搜索关键词: 基于 gan 材料 rgbw led 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
一种基于GaN材料的RGBW四色LED芯片的制备方法,其特征在于,包括:选择蓝宝石作为衬底(11);在所述衬底(11)上生长蓝光材料,其中,所述蓝光材料包括GaN;对所述蓝光材料进行选择性刻蚀以形成红光灯芯槽;在所述红光灯芯槽中生长红光材料;对所述蓝光材料进行选择性刻蚀以形成绿光灯芯槽;在所述绿光灯芯槽中生长绿光材料;刻蚀所述蓝光材料、所述红光材料及所述绿光材料以形成白光材料;分别在所述蓝光材料、所述红光材料、所述绿光材料和所述白光材料上制备电极,以完成基于GaN材料的RGBW四色LED芯片的制备。
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