[发明专利]一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法

摘要

本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层及制备方法，该涂层设于各种不同成分的基体上，其结构为A‑Mo/Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1/Mo_x2Al_y2C_Z2N_{(1‑x2‑y2‑z2)}/Mo_x3Al_y3C_Z3Si_u3N_{(1‑x3‑y3‑z3‑u3)}，其中，A为基体所含的主要元素，0

主权项

1.一种氮化钼基梯度多元纳米复合涂层，该涂层设于基体表面，其特征在于，为由内向外依次由A‑Mo膜、Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1膜、Mo_x2Al_y2C_Z2N_{(1‑x2‑y2‑z2)}膜和Mo_x3Al_y3C_Z3Si_u3N_{(1‑x3‑y3‑z3‑u3)}膜组成的结构为A‑Mo/Mo_x1A_y1N_1‑x1‑y1/Mo_x2Al_y2C_Z2N_{(1‑x2‑y2‑z2)}/Mo_x3Al_y3C_Z3Si_u3N_{(1‑x3‑y3‑z3‑u3)}的纳米复合涂层，其中，A为基体所含的主要元素，0<x,y,z,u<1。