[发明专利]一种张网固定结构和张网固定方法在审
| 申请号： | 201711374959.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109930107A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 曾辉;陈凯凯;兰兰 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 201506 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种张网固定结构和张网固定方法，用以实现提高张网效率，避免采用焊接方式固定金属掩膜板产生褶皱导致蒸镀良率下降的问题。张网固定结构包括支撑框架和磁力发生装置。其中，支撑框架承载有磁力发生装置；磁力发生装置，用于吸附金属掩膜板，并将金属掩膜板固定于支撑框架上。如此，通过磁力发生装置将金属掩膜板吸附在支撑框架上，金属掩膜板的固定和拆卸操作简便，进而可以提高张网效率；而且可以避免因采用焊接方式固定金属掩膜板而产生褶皱，进而避免因采用焊接方式张网导致的蒸镀良率下降的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 张网 磁力发生装置 金属掩膜板 支撑框架 固定结构 焊接方式 褶皱 固定金属 掩膜板 良率 吸附 蒸镀 半导体制造技术 拆卸 承载 | ||
【主权项】：
1.一种张网固定结构，其特征在于，包括：支撑框架；所述支撑框架承载有磁力发生装置；所述磁力发生装置，用于吸附金属掩膜板，并将所述金属掩膜板固定于所述支撑框架上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司，未经上海和辉光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711374959.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
