[发明专利]ITO薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201711336814.2 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108109722A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 谭时雨;周剑飞;李宏建;夏辉 | 申请（专利权）人： | 湖南兴威新材料有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B1/08;C01G19/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 黄敏华 |
| 地址： | 410215 湖南省长沙市望城经济开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO薄膜制备方法，其包括以下步骤：向含铟盐、锡盐的混合水溶液中加入碱溶液，调节混合水溶液的pH值至6‑8，将铟盐、锡盐分别转化为沉淀下来的铟氢氧化物、锡氢氧化物；对混合水溶液进行固液分离，采用去离子水多次清洗铟氢氧化物和锡氢氧化物，获得铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体；将铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体置于50‑70℃中烘干，而后置于650‑750℃中微波烧结5‑20min，获得ITO纳米颗粒；将ITO纳米颗粒分散在ITO溶胶中形成ITO纳米颗粒分散液；将ITO纳米颗粒分散液旋涂成膜，并进行干燥处理和退火处理后获得ITO薄膜；采用溶胶凝胶前驱体法和纳米晶法结合的方法制备ITO薄膜，在低温下退火处理获得ITO薄膜；该方法简单有效，且制品具有高导电率。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氧化物 纳米颗粒分散 混合水溶液 制备 退火处理 前驱体 铟盐 溶胶凝胶前驱体 干燥处理 高导电率 固液分离 纳米颗粒 去离子水 微波烧结 碱溶液 纳米晶 成膜 烘干 锡盐 液旋 沉淀 清洗 | ||
【主权项】：
1.ITO薄膜制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：步骤一、向含铟盐、锡盐的混合水溶液中加入碱溶液，调节混合水溶液的pH值至6-8，将铟盐、锡盐分别转化为沉淀下来的铟氢氧化物、锡氢氧化物；步骤二、对步骤一后的混合水溶液进行固液分离，采用去离子水多次清洗铟氢氧化物和锡氢氧化物，获得铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体；步骤三、将步骤二所获得的铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体置于50-70℃中烘干，而后置于650-750℃中微波烧结5-20min，获得ITO纳米颗粒；步骤四、将步骤三所获得的ITO纳米颗粒分散在ITO溶胶中形成ITO纳米颗粒分散液；步骤五、将步骤四所得的ITO纳米颗粒分散液旋涂成膜，并进行干燥处理和退火处理后获得ITO薄膜。
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