[发明专利]ITO薄膜制备方法

权利要求书

1.ITO薄膜制备方法，其特征在于：其包括以下步骤：

步骤一、向含铟盐、锡盐的混合水溶液中加入碱溶液，调节混合水溶液的pH值至6-8，将铟盐、锡盐分别转化为沉淀下来的铟氢氧化物、锡氢氧化物；

步骤二、对步骤一后的混合水溶液进行固液分离，采用去离子水多次清洗铟氢氧化物和锡氢氧化物，获得铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体；

步骤三、将步骤二所获得的铟氢氧化物和锡氢氧化物的前驱体置于50-70℃中烘干，而后置于650-750℃中微波烧结5-20min，获得ITO纳米颗粒；

步骤四、将步骤三所获得的ITO纳米颗粒分散在ITO溶胶中形成ITO纳米颗粒分散液；

步骤五、将步骤四所得的ITO纳米颗粒分散液旋涂成膜，并进行干燥处理和退火处理后获得ITO薄膜。

2.根据权利要求1所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：在步骤四中，ITO纳米颗粒分散液中ITO纳米颗粒的摩尔浓度为0.06-0.24mol/L。

3.根据权利要求1或2所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：在步骤一中，含铟盐、锡盐的混合水溶液中锡元素的物质的量占铟、锡元素总物质的量之和的5-12%。

4.根据权利要求3所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：混合水溶液中的铟盐包括氯化铟、氯化铟水合物、硝酸铟、硝酸铟水合物中的一种或多种，混合水溶液中的锡盐包括四氯化锡、其水合物中的一种或者两种。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：步骤一中的碱溶液设为氢氧化钠、氨气的水溶液。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：在步骤二中，采用离心方式进行固液分离；离心时，离心分离机的转速为3000-3500r/min，离心时间为5-10min。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：在步骤五中，干燥处理的温度为150-250℃，干燥处理的时间为1-3h。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：在步骤五中，退火处理的温度为250-300℃，退火处理的时间为5-10min；其中，退火处理的方式为微波烧结，其处理过程中的保护气体设为氮气、氢气、氩气的一种或者多种。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：步骤三中的ITO溶胶的制备方法为：将含铟盐、锡(Ⅱ)盐溶于有机溶剂中，在60-80℃回流3h，得到所述ITO溶胶。

10.根据权利要求9所述的ITO薄膜制备方法，其特征在于：所述有机溶剂包括乙醇、乙二醇、二甲苯、丙醇、异丙醇中的任意一种或者多种。