[发明专利]一种ZnSnN有效
| 申请号： | 201711330330.7 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108149206B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 蔡兴民;叶凡;王博;范平;张东平 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 44268 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种ZnSnN | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制备 载流子迁移率 氮气 射频溅射 直流溅射 氩气气氛 共溅射 金属锡 金属锌 衬底 沉积 流动 | ||
【主权项】：
1.一种ZnSnN
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学，未经深圳大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711330330.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防弯曲的背板
- 下一篇：一种靶材组件、溅射系统及靶材层消耗状况的监控方法
- 同类专利
- 专利分类
