[发明专利]电泵浦钙钛矿量子点激光器的制备方法有效
申请号: | 201711323556.4 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN108063365B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 郑婉华;刘志爽;王宇飞 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/20 | 分类号: | H01S5/20;H01S5/30;H01S5/042 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤宝平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种电泵浦钙钛矿量子点激光器的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底刻蚀第一光子晶体结构为激光器提供谐振腔和面发射机制;步骤2:在一负电极上依次制备电子传输层、钙钛矿量子点层、空穴传输层和正电极,形成第一基片;步骤3:将刻蚀有第一光子晶体结构的衬底与第一基片键合,完成制备。本发明能得到结构简单的电泵钙钛矿量子点激光器结构,其能有效地提高钙钛矿量子点在电泵下的外量子效率。 | ||
搜索关键词: | 电泵浦钙钛矿 量子 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电泵浦钙钛矿量子点激光器的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底刻蚀第一光子晶体结构为激光器提供谐振腔和面发射机制;步骤2:在一负电极上依次制备电子传输层、钙钛矿量子点层、空穴传输层和正电极,形成第一基片;步骤3:将刻蚀有第一光子晶体结构的衬底与第一基片键合,完成制备。
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