[发明专利]用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的溅镀装置在审
申请号: | 201711321602.7 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN109913832A | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 祝海生;黄乐;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的溅镀装置,包括载具、固定架、安装架以及多个传送带,所述生产线的每个腔室均设有一个传送带,所述固定架固定安装于传送带上,所述固定架设有四个,成对设置,两个固定架之间间隔布置,所述载具固定于安装架上,所述安装架卡紧于两对固定架之间。本发明的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的溅镀装置,能够稳定的传送大面积的玻璃基片,并且适用于各种尺寸的大面积玻璃基片。 | ||
搜索关键词: | 大面积玻璃 固定架 磁控溅射镀膜 传送带 溅镀装置 安装架 玻璃基片 成对设置 间隔布置 卡紧 腔室 载具 架设 传送 | ||
【主权项】:
1.一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的溅镀装置,所述溅镀装置设置于真空的溅镀室内,其特征在于,所述溅镀装置包括转盘(1)、安装架(3)、至少三个溅镀枪(2)和三个驱动装置,所述转盘(1)通过安装架(3)安装于溅镀室内,所述转盘(1)上设有至少三个靶位(11),所述溅镀枪(2)通过第一驱动装置驱动穿过或远离相应靶位(11),所述转盘(1)通过第二驱动装置驱动靠近或远离待溅镀的玻璃基片,所述转盘(1)通过第三驱动装置平行于玻璃基片移动。
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