[发明专利]用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置在审
| 申请号： | 201711321570.0 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109912228A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;黄乐;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，包括载具、固定架、安装架以及多个传送带，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带，所述固定架固定安装于传送带上，所述固定架设有四个，成对设置，两个固定架之间间隔布置，所述载具固定于安装架上，所述安装架卡紧于两对固定架之间。本发明的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，能够稳定的传送大面积的玻璃基片，并且适用于各种尺寸的大面积玻璃基片。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积玻璃 固定架 磁控溅射镀膜 传送带 传送装置 安装架 玻璃基片 成对设置 间隔布置 卡紧 腔室 载具 架设 传送 | ||
【主权项】：
1.一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，包括载具(2)、固定架(3)、安装架(5)以及多个传送带(1)，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带(1)，所述固定架(3)固定安装于传送带(1)上，所述固定架(3)设有四个，成对设置，两个固定架(3)之间间隔布置，所述载具(2)固定于安装架(5)上，所述安装架(5)卡紧于两对固定架(3)之间。
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