[发明专利]用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置

权利要求书

1.一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，包括载具(2)、固定架(3)、安装架(5)以及多个传送带(1)，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带(1)，所述固定架(3)固定安装于传送带(1)上，所述固定架(3)设有四个，成对设置，两个固定架(3)之间间隔布置，所述载具(2)固定于安装架(5)上，所述安装架(5)卡紧于两对固定架(3)之间。

2.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，其中一对所述固定架(3)之间固定设有限位杆(4)。

3.根据权利要求2所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述限位杆(4)设有缓冲垫。

4.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述两对固定架(3)之间的最小距离小于安装架(5)的长度。

5.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述相邻传送带(1)之间的距离小于安装架(5)长度的1/2。

6.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述固定架(3)的宽度大于安装架(5)宽度的1/3小于安装架(5)宽度的1/2。

7.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述固定架(3)设有橡胶垫。

8.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述载具(2)与安装架(5)通过螺栓固定。