[发明专利]用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置

说明书

本发明公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，包括载具、固定架、安装架以及多个传送带，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带，所述固定架固定安装于传送带上，所述固定架设有四个，成对设置，两个固定架之间间隔布置，所述载具固定于安装架上，所述安装架卡紧于两对固定架之间。本发明的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，能够稳定的传送大面积的玻璃基片，并且适用于各种尺寸的大面积玻璃基片。

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜技术领域，尤其涉及一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置。

背景技术

目前市场上的透明导电薄膜主要有ITO(In₂O₃:Sn)、FTO(SnO₂:F)、AZO(ZnO:Al)三种。各自有自己的优缺点，如ITO电阻率比较低,成本较高；FTO成本较低，成膜温度高，氢等离子体环境稳定性差；AZO在氢等离子体环境中稳定性好，成本低廉，电学性能不如ITO。不同吸收层的薄膜太阳能电池需选择适合的透明导电薄膜，以获得最佳界面效果。掺铝氧化锌(AZO)薄膜以其优异的导电性能、可见光透过性能、良好的氢等离子体稳定性能、以及价格低廉、资源丰富等优点将可能成为非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池、CIGS薄膜太阳能电池的透明导电薄膜材料。

TCO薄膜具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性，在太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域具有广阔的应用前景。TCO薄膜制造成本低于ITO、无毒、易光刻加工、在氢气氛中的化学稳定性比ITO膜好，有可能替代ITO产品，尤其在太阳能电池透明电极领域。而20世纪80年代兴起的ZnO：Al(简称AZO)透明导电薄膜中的Zn源价格便宜(有关金属材料的市场价格以每千克人民币元计算大致是：铝15.2、锌14.4、锡152、铟3200)，来源丰富，无毒，并且在氢等离子体中稳定性要优于ITO薄膜，同时具有可与ITO薄膜相比拟的光电特性。所以，AZO薄膜目前己成为TCO薄膜领域的研究热点并广为应用。

为了获得可见光谱区透射率高、电导率高、性能稳定、附着性好、能符合不同用途不同要求的高质量的AZO膜，国内外已经研发出多种AZO薄膜的制备技术来调控和改善材料的性能。各种技术虽然各具特点但都致力于完善薄膜性能、降低反应温度、提高控制精度、简化制备成本和适应大规模生产。

溅射是利用荷能粒子轰击固体靶材，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的一种工艺。靶材可选用金属靶和陶瓷靶。磁控溅射制备法具有沉积速率高、基片温度低、成膜黏附性好、易控制、成本低、适合大面积制膜的优点，仍是目前研究最多、最成熟、应用最广泛的AZO薄膜制备技术。

溅镀机现已成为薄膜制作工艺中不可或缺的一部分。目前普通型溅镀机由于内部结构单一，通常需要较长时间才能达到产品要求镀膜厚度；同时由于其真空度不高，产品在溅射镀膜加工过程中难以保持高真空状态，镀膜稳定性较差，镀膜纯度低。此外，现有的溅镀机不适用于大面积的玻璃镀膜。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，能够稳定的传送大面积的玻璃基片，并且适用于各种尺寸的大面积玻璃基片。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，包括载具、固定架、安装架以及多个传送带，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带，所述固定架固定安装于传送带上，所述固定架设有四个，成对设置，两个固定架之间间隔布置，所述载具固定于安装架上，所述安装架卡紧于两对固定架之间。

作为上述技术方案的进一步改进：

其中一对所述固定架之间固定设有限位杆。

所述限位杆设有缓冲垫。

所述两对固定架之间的最小距离小于安装架的长度。