[发明专利]一种冷却板在审
申请号: | 201711297818.4 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN108118296A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 邓曾红;管长乐 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/46 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及真空镀膜领域的冷却设备技术领域,公开了一种冷却板,包括冷却板本体,所述冷却板本体内设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道。本发明提供的冷却板通过在冷却板本体内设置进、回水通道并行的循环水道,提高了冷却板的换热效率,解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题。 | ||
搜索关键词: | 循环水道 冷却板 冷却 回水通道 并行 体内 冷却板本体 热效率 回水温差 冷却设备 真空镀膜 整体冷却 不均匀 进水 水道 | ||
【主权项】:
一种冷却板,其特征在于:包括冷却板本体,所述冷却板本体内设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道。
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