[发明专利]一种单晶硅制绒添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201711253119.X | 申请日： | 2017-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN107858756B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 32258 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王美华;任晓岚 |
| 地址： | 213100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于硅片制绒技术，特别涉及一种单晶硅制绒添加剂及其应用。将特定的离子液体作为添加剂加入到碱液中制备制绒液，并采用该制绒液对单晶硅进行制绒，可在碱液低浓度的情况下促进腐蚀的进行，提高制绒效率；避免了硅片表面的规整性受到破坏，延长了制绒后硅片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 制绒 单晶硅 制绒液 碱液 制绒添加剂 硅片表面 硅片制绒 离子液体 使用寿命 规整性 硅片 制备 添加剂 腐蚀 应用 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅制绒添加剂，其特征在于：所述的单晶硅制绒添加剂为离子液体，所述离子液体为卤代咪唑类离子液体，具体为溴化1-乙基-3-甲基咪唑、溴化1-丙基-3-甲基咪唑、溴化1-丁基-3-甲基咪唑或氯化1-乙基-3-甲基咪唑。/n
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