[发明专利]根据电路设计图形设置扫描阈值的方法

摘要

本发明公开了一种根据电路设计图形设置扫描阈值的方法，在光学检测机台内增加一个包含有电路设计图形数据库的处理模块，该模块通过对比扫描部分所得到的数字灰阶图像和电路设计图形数据库中所提取该数字灰阶图像所在坐标尺寸的电路设计图形，划分缺陷信号点的落点位置；并在扫描过后将扫描得到的缺陷信号点按照落在曝光位置、非曝光位置以及曝光和非曝光交界位置分在三个不同的类别内，分别设置扫描阈值参数。本发明能够减少扫描中所得到的前站缺陷的信号数量，从而降低缺陷扫描的非真实缺陷率。

主权项

1.一种根据电路设计图形设置扫描阈值的方法，其特征在于：在光学检测机台内设置一包含有电路设计图形数据库的处理模块，所述处理模块通过对比扫描部分所得到的数字灰阶图像和电路设计图形数据库中所提取该数字灰阶图像所在坐标尺寸的电路设计图形，划分缺陷信号点的落点位置；根据数字灰阶图像中缺陷信号差异点的所在的像素位置，与相应的电路设计图形进行比对，从而判断和区分该差异点信号处在当层设计图形中的曝光位置或非曝光位置；之后，将扫描得到的缺陷信号点按照落在曝光位置、非曝光位置以及曝光和非曝光交界位置分在三个不同的类别内；最后，在扫描程式建立时的阈值参数设定步骤中，在同一扫描区域中，将分落在三个类别内的缺陷信号分别设置扫描阈值参数。