[发明专利]石英晶片研磨清洗机及其研磨清洗工艺

摘要

本发明公开了一种结构简单、操作便捷和工作效率高的石英晶片研磨清洗机及其研磨清洗工艺。所述石英晶片研磨清洗机包括机架、依次设置于所述机架上的第一清洗槽、第二清洗槽和第三清洗槽，所述第一清洗槽、所述第二清洗槽和所述第三清洗槽的内部均设置有摇篮架，所述摇篮架上适配安装有晶片固定装置，所述机架上设置有三个电机，三个所述电机分别与所述第一清洗槽、所述第二清洗槽和所述第三清洗槽中的所述摇篮架相连接，所述第一清洗槽与所述第二清洗槽之间及所述第二清洗槽和所述第三清洗槽之间均设置有流通管，所述第三清洗槽上端设置有注水管道，所述第一清洗槽的侧端设置有排水管道。本发明应用于石英晶片清洗技术领域。

主权项

一种石英晶片研磨清洗机，其特征在于：它包括机架（1）、依次设置于所述机架（1）上的第一清洗槽（2）、第二清洗槽（3）和第三清洗槽（4），所述第一清洗槽（2）、所述第二清洗槽（3）和所述第三清洗槽（4）的内部均设置有摇篮架（5），所述摇篮架（5）上适配安装有晶片固定装置（6），所述机架（1）上设置有三个电机（7），三个所述电机（7）分别与所述第一清洗槽（2）、所述第二清洗槽（3）和所述第三清洗槽（4）中的所述摇篮架（5）相连接，所述第一清洗槽（2）与所述第二清洗槽（3）之间及所述第二清洗槽（3）和所述第三清洗槽（4）之间均设置有流通管（8），所述第三清洗槽（4）上端设置有注水管道，所述第一清洗槽（2）的侧端设置有排水管道。