[发明专利]激光切割掩膜板的方法、掩膜板及激光切割设备在审
| 申请号： | 201711143074.0 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107855666A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 左招霞 | 申请（专利权）人： | 惠州市契贝科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/18;B23K26/03 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516008 广东省惠州市惠城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光切割掩膜板的方法、掩膜板及激光切割设备。上述的激光切割掩膜板的方法包括于所述掩膜板上沉积一层激光防护膜，所述激光防护膜用于吸收或反射激光束；于所述激光防护膜上制作待曝光区域，所述待曝光区域用于通过所述激光束；将所述掩膜板定位于工作台上；扫描所述掩膜板，得到所述掩膜板的待曝光区域的坐标数据；根据所述待曝光区域的坐标数据控制激光头运动。由于在激光切割过程中掩膜板的非切割区域已被激光防护膜所覆盖，避免掩膜板切割过程中产生的高温灰尘溅落至掩膜板的非切割区域，起到保护作用同时也可以保证掩膜板的切割精度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 切割 掩膜板 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种激光切割掩膜板的方法，其特征在于，包括：于所述掩膜板上沉积一层激光防护膜，所述激光防护膜用于吸收或反射激光束；于所述激光防护膜上制作待曝光区域，所述待曝光区域用于通过所述激光束；将所述掩膜板定位于工作台上；扫描所述掩膜板，得到所述掩膜板的待曝光区域的坐标数据；根据所述待曝光区域的坐标数据控制激光头运动。
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