[发明专利]一种飞秒激光微加工方法及装置有效
| 申请号： | 201711077427.1 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107717216B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 王竹萍;王才良;范小康;孙禹;刘娟娟 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/18;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 11570 北京众达德权知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光微加工方法及装置，所述方法包括：在基底材料上表面镀膜；将飞秒脉冲激光光束聚焦到镀膜基底材料上表面；在所述镀膜基底材料上表面写入微孔图案；将加工有微孔图案的镀膜基底材料放入反应溶液中，洗去镀膜层；取出洗去镀膜层的基底材料，经超声浴后即可获得飞秒脉冲激光微加工后的具有微孔图案的基底材料。通过上述方法解决了现有技术中飞秒激光微加工过程中，加工区域存在热影响区、重铸层、热变形和裂纹等，影响加工质量和加工精度的技术问题，达到了避免热影响区、重铸层、热变形和裂纹等的出现，提高加工质量和加工精度的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光微加工方法，其特征在于，所述方法包括：/n在基底材料上表面镀膜，在所述基底材料上表面镀有多层膜，采用电子束蒸镀技术在所述基底材料上表面进行镀膜，所述多层膜包括介质膜和金属膜，所述金属膜包括：银膜，所述银膜在所述基底材料的上表面；铜膜，所述铜膜在所述银膜上方；铝膜，所述铝膜在所述铜膜上方；/n将飞秒脉冲激光光束聚焦到镀膜基底材料上表面；/n在所述镀膜基底材料上表面写入微孔图案；/n将加工有微孔图案的镀膜基底材料放入反应溶液中，洗去镀膜层，具体包括：将得到的已加工完毕的所述镀膜基底材料放入超声机中清洗15分钟，再将其放入到质量分数为70％的浓硫酸溶液，直至镀膜层完全反应完，然后用碱溶液中和浓硫酸，取出洗去镀膜层的基底材料；/n取出洗去镀膜层的基底材料，经超声浴后即可获得飞秒脉冲激光微加工后的具有微孔图案的基底材料。/n
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