[发明专利]一种硅片玻璃钝化电泳工艺在审
| 申请号： | 201711059155.2 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109750342A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王晓捧;史丽萍;王宏宇;梁效峰;张庆东;徐长坡;陈澄;杨玉聪 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C25D15/02 | 分类号： | C25D15/02;C25D7/12 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300380 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片玻璃钝化电泳工艺，包括将多批次硅片依次放入同一含有溶剂、玻璃粉和第一电解液的电泳液中进行电泳，并且在电泳若干批次硅片后向所述电泳液中添加第二电解液，然后继续电泳剩余若干批次硅片。优选的，在电泳至电泳液中玻璃粉的浓度不足以使玻璃粉电泳至硅片上时向电泳液中添加第二电解液。本发明在电泳过程中通过向电泳液中加入电解液，显著提高了相同电泳液量，相同玻璃粉浓度下电泳液处理硅片的处理量，提高了玻璃粉的利用率，降低了玻璃粉的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 电泳液 硅片 玻璃粉 电泳 电解液 玻璃钝化 电泳工艺 电泳过程 处理量 溶剂 放入 后向 优选 | ||
【主权项】：
1.一种硅片玻璃钝化电泳工艺，其特征在于：包括将多批次硅片依次放入同一含有溶剂、玻璃粉和第一电解液的电泳液中进行电泳，并且在电泳若干批次硅片后向所述电泳液中添加第二电解液，然后继续电泳剩余若干批次硅片。
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