[发明专利]一种无胶双面挠性覆铜板生产设备

摘要

本发明公开了一种无胶双面挠性覆铜板生产设备，包括真空腔体、收放卷系统，所述真空腔体一侧设置有靶极车，所述靶极车上设置有靶极，所述靶极车与所述真空腔体之间设置有第二密封件。有益效果在于(1)空腔体为圆形，不会形成抽气死角，真空度均匀；真空获得系统为分子泵无油系统，确保了真空室内无返油；配置的深冷泵提高对连续镀膜过程中基材放气的抽速，从而提高了工作效率。(2)采用了双收放卷系统，可以满足磁控溅射区全幅宽的一卷双面镀及两卷单面镀；也可以满足镀区半幅宽的两卷镀单面及双面镀，功能全面。(3)在进入磁控溅射区处设离子源处理装置，对基材表面进行离子轰击，提高基材表面粗糙度，确保膜层与基材之间的剥离强度。

主权项

一种无胶双面挠性覆铜板生产设备，其特征在于：包括真空腔体、收放卷系统，所述真空腔体一侧设置有靶极车，所述靶极车上设置有靶极，所述靶极车与所述真空腔体之间设置有第二密封件，所述真空腔体靠近所述靶极车的一侧设置有后法兰，所述真空腔体另一侧设置有所述收放卷系统，所述收放卷系统与所述真空腔体之间设置有第一密封件，所述收放卷系统和所述靶极车下方设置有滑动座，所述滑动座内设置有驱动马达，所述滑动座下方设置有导轨，所述真空腔体外壁两侧设置有固定座，所述固定座上方设置有控制器，所述真空腔体外壁上设置有真空获得系统，所述真空获得系统上设置有分子泵，所述真空腔体内壁上设置有真空度检测器，所述收放卷系统内部上端并排设置有两个上主动辊，所述收放卷系统内部下端并排设置有两个下主动辊，所述收放卷系统内部两侧分别设置有收卷轴和放卷轴，所述收卷轴与所述放卷轴上设置有辊套，所述收卷轴上的所述辊套外壁上设置有静电消除装置，所述收卷轴与所述上主动辊之间设置至少两个所述导向辊，其中两个所述导向辊之间设置有张力辊，所述真空腔体内安装有深冷水汽捕集器，所述下主动辊与磁控溅射区入口之间设置有离子源处理装置。