[发明专利]基板加工装置以及使用基板加工装置的方法

摘要

提供了一种基板加工装置。基板加工装置可以包括基板夹具设备和传送单元，传送单元被配置为以非接触状态保持基板并将基板朝向基板夹具设备移动。基板夹具设备可以包括支撑件、第一吸附部件以及多个第二吸附部件。支撑件被配置为支撑基板的边缘并且具有开口，第一吸附部件与开口的中心区域重叠并且被被配置为沿着第一方向移动，多个第二吸附部件与开口的边缘区域重叠并且被配置为朝向开口移动。这里，第一方向可以是穿过开口的方向。

主权项

一种基板加工装置，包括：基板夹具设备；以及传送单元，被配置为以非接触状态保持基板，并将所述基板朝向所述基板夹具设备传送，其中所述基板夹具设备包括：支撑件，被配置为支撑所述基板的边缘并具有开口；第一吸附部件，与所述开口的中心区域重叠并且被配置为沿着第一方向移动，所述第一方向是穿过所述开口的方向；以及多个第二吸附部件，与所述开口的边缘区域重叠并且被配置为朝向所述开口移动。