[发明专利]电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法

摘要

一种电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法，该装置中的主要元件包括：线偏振光激光器、第一透镜、小孔光阑、第二透镜、分光镜、平面反射镜、接收屏、第三透镜、一维精密电动位移台、第四透镜、线偏振片、第五透镜、图像探测器和计算机，装调光路须用到数字光电自准直仪和一块平行度为1″的平行平板玻璃等。本发明实现了待测电光晶体非接触式无损检测，克服了现有方法中的晶体易产生划痕、测量装置难以搭建和锥光干涉图难以分析等一系列问题。本发明更换不同F数的第三透镜和第四透镜，可对不同厚度的电光晶体进行测量。本发明测量的数据重复性很好，与现有的X射线晶体定向仪测量的数据进行比较，相对误差在30″以内。

主权项

1.一种电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置，包括：激光器(1)、第一透镜(2)、小孔光阑(3)、第二透镜(4)、分光镜(5)、接收屏(6)、平面反射镜(7)、第三透镜(8)、一维精密电动位移台(9)、待测电光晶体(10)、第四透镜(11)、线偏振片(12)、第五透镜(13)、图像探测器(14)和计算机(15)；其特征在于：所述的激光器(1)为线偏振光激光器(1)，沿所述的线偏振光激光器(1)发出的激光方向依次是所述的第一透镜(2)、小孔光阑(3)、第二透镜(4)和分光镜(5)，该分光镜(5)将入射光分为反射光和透射光，在所述的反射光方向上放置所述的平面反射镜(7)，该平面反射镜(7)又将光线反射经所述的分光镜(5)到达所述的接收屏(6)上；在所述的透射光方向依次放置所述的第三透镜(8)、待测电光晶体(10)、第四透镜(11)、线偏振片(12)、第五透镜(13)和图像探测器(14)，所述的第三透镜(8)被固定在所述的一维精密电动位移台(9)上，所述的线偏振片(12)的检偏方向与所述的线偏振光激光器(1)出射光的振动方向相互垂直；所述的图像探测器(14)的输出端与所述的计算机(15)的输入端相连；所述的分光镜(5)、接收屏(6)、平面反射镜(7)和待测电光晶体(10)组成泰曼格林型干涉系统；所述的第三透镜(8)和第四透镜(11)的口径相同、焦距相同且在光路上严格共轭，所述的第三透镜(8)和第四透镜(11)的F数与所述的待测电光晶体(10)的厚度d的关系为：2F≤d≤3F；所述的线偏振光激光器(1)的出射光束、第一透镜(2)、第二透镜(4)、第三透镜(8)和第四透镜(11)同光轴；所述的第三透镜(8)可被所述的一维精密电动位移台(9)移出和移入光路，且所述的第三透镜(8)每次被所述的一维精密电动位移台(9)移入光路后都在同一位置，用平行度为1″的平行平板玻璃(16)对平面反射镜(7)、第三透镜(8)、第四透镜(11)和待测电光晶体(10)进行姿态调整。