[发明专利]减压干燥装置有效
| 申请号： | 201710899704.0 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107878044B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 岛村名典;林辉幸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
在既进行基板上的溶剂的减压干燥处理又进行溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理的减压干燥装置中，以简单的装置结构缩短上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间。减压干燥装置(1)使收纳在腔室(10)内的基板(W)上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从基板(W)汽化的溶液中的溶剂的溶剂捕获部(30)，溶剂捕获部(30)以与基板(W)相对的方式设置在腔室(10)内，构成溶剂捕获部(30)的网状板的开口率为60％以上80％以下，单位面积的热容为850J/K·m |
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| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种减压干燥装置，其使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置的特征在于：包括由网状板构成的、暂时地捕获从所述基板汽化的所述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，所述溶剂捕获部以与所述基板相对的方式设置在所述腔室内，并且，在所述腔室内的压力被减压至所述基板的温度下的所述溶剂的蒸气压以下的时刻，所述溶剂捕获部的温度，被因减压而发生了绝热膨胀的所述腔室内的气体冷却至该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发前的期间，该溶剂捕获部的温度被维持在各时刻的所述腔室内的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发后的5分钟以内，该溶剂捕获部的温度因来自所述腔室的辐射热而达到该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以上。
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