[发明专利]厚膜陶瓷压力传感器零点电压在线调试方法在审

专利信息
申请号: 201710864897.6 申请日: 2017-09-22
公开(公告)号: CN107655625A 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 毛利;曹庆;王永生;段晓燕;张红娟;戴思;李玲;张岁萌 申请(专利权)人: 陕西华经微电子股份有限公司
主分类号: G01L27/00 分类号: G01L27/00
代理公司: 西安文盛专利代理有限公司61100 代理人: 佘文英
地址: 710065*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种厚膜陶瓷压力传感器零点电压在线调试方法,采用多单元阵列作业台面,通过功能控制开关,将传感器零点测量装置与激光修阻机结合在一起,构成一种适合大批量生产的厚膜陶瓷压力传感器零点电压在线调试系统,采用特别编制的修调软件实现零点电压在线功能调试。本发明在线调试方法具有操作简单、零点调试指标一致性好;采用了多单元阵列调试可有效提高调试效率,适合厚膜陶瓷压力传感器大批量生产;调试结果便于数据收集、分析、监测和追溯及有效质量监控。
搜索关键词: 陶瓷 压力传感器 零点 电压 在线 调试 方法
【主权项】:
一种厚膜陶瓷压力传感器零点电压在线调试方法,其特征是:将待修调的产品置于多单元阵列作业台面,将装载产品的多单元阵列作业台面嵌入激光修阻机作业台面,电触点探针卡即与多单元阵列作业台面上的产品相接触,加载零点测量系统,启动调试软件,调试时先自动进行闭环阻值修调,使电桥达到初步平衡状态,再通过功能控制开关将调试状态切换到零点电压修调状态,使每一只传感器都能调试到期望的零点电压值,达到精调参数设置目标后,零点电压修调过程结束,系统显示最终的调试结果,并且标识出不合格单元的具体位置以便有效剔除不合格单元。
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