[发明专利]有机光电元件结构与制程方法有效
申请号: | 201710792315.8 | 申请日: | 2017-09-05 |
公开(公告)号: | CN107706316B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 黄胜扬;赵清烟;张正澔;颜丰文 | 申请(专利权)人: | 机光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 仲伯煊 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种有机光电元件结构与制程方法,其中系将有机层及第二电极层以相同范围沉积后,对第二电极层施以激光扫描击穿,并使第二电极层部分击穿后,形成与接触电极层的电性连接区。利用本发明可有效地减少有机光电元件制作时金属遮罩的使用次数,大幅降低制程所需的对位时间以及减少更换金属遮罩时造成的操作时间,且凭借激光扫描击穿形成的电性连接区域具有较窄的边框(border),将可使有机光电元件具有较大的作用面积。 | ||
搜索关键词: | 有机 光电 元件 结构 方法 | ||
【主权项】:
一种有机光电元件制程方法,其特征是步骤如下:在一基板上的一侧沉积一第一电极层,在该基板的另一侧沉积一接触电极层;凭借一金属遮罩于该第一电极层及该接触电极层上,依序沉积一有机层、一第二电极层;以激光对该接触电极层处进行扫描击穿将部分该第二电极层、该有机层及该接触电极层去除;以及该第二电极层在激光扫描处与该接触电极层形成电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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