[发明专利]一种预抽真空装置有效
| 申请号： | 201710771338.0 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107385410B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张毅 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及显示器制造领域的真空溅射机台，在其预抽真空装置中，玻璃基板放置于腔体中，所述腔体一侧腔壁上设置有干泵排风口和低温泵排风口，所述干泵排风口和所述低温泵排风口正对位置均设置长方形挡板，在所述抽真空装置进行大气－真空－大气状态的切换过程中，保持气流不直接作用与所述玻璃基板表面，减缓气体湍流对所述玻璃基板造成的颗粒杂质、气泡等不利影响，提高本工序的成膜品质。 | ||
| 搜索关键词： | 排风口 玻璃基板 预抽真空 低温泵 干泵 腔体 机台 玻璃基板表面 长方形挡板 抽真空装置 显示器制造 大气状态 颗粒杂质 气体湍流 真空溅射 正对位置 成膜 腔壁 | ||
【主权项】：
1.一种预抽真空装置，包括腔壁，腔壁内放置玻璃基板，其特征在于：所述腔壁一侧内壁同时设有干泵排气口和低温泵排气口，所述干泵排气口与所述玻璃基板之间设第一挡板，所述第一挡板与所述腔壁不接触，所述第一挡板遮盖所述干泵排气口；所述低温泵排气口与所述玻璃基板之间设第二挡板，所述第二挡板与所述腔壁不接触，所述第二挡板遮盖所述低温泵排气口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司，未经武汉华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710771338.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能电弧离子源
- 下一篇：一种苗族刺绣服饰及其制作方法
- 同类专利
- 专利分类
