[发明专利]用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统及方法有效
| 申请号： | 201710713099.3 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107571141B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李弘恺;路新春;雒建斌;沈攀 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统及方法，该系统包括：数据读取模块，用于读取预先存储的电机功率数据，其中，电机功率数据为化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；调试模块，用于根据电机功率数据确定终点捕捉窗口的参数值。该实施例的系统及方法可使工艺人员线下模拟终点检测过程，并有效调节运动窗口参数，进而在方便参数调试的同时，降低生产成本并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 工艺 终点 检测 离线 调试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统，其特征在于，所述系统包括：数据读取模块，用于读取预先存储的电机功率数据，其中，所述电机功率数据为化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；调试模块，用于根据所述电机功率数据确定终点捕捉窗口的参数值；所述调试模块，包括：曲线生成子模块，用于生成所述电机功率数据的功率信号曲线；调试子模块，用于根据所述功率信号曲线确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值，其中，所述终点捕捉窗口随时间与所述功率信号曲线同步运动，并且所述终点捕捉窗口与所述功率信号曲线当前点的相对位置保持不变。
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